Softwall Archieven -

FAHRBARER REINRAUM ASML – LITHOGRAFIE

14. August 2023Hugo Woudsma

Reinraumspezifikationen ISO-Klasse 6 (ISO 14644-Teil 1) ca. 160 Luftwechsel pro Stunde im Hauptraum 4 Stück HEPA-Fan-Filter-Units vom Typ H14 Maße: ca. 9 m2 (3m x 3m) x 2,5m Innenhöhe Vorfilter mit hoher Kapazität, bis zu 6x längere Lebensdauer Robuster pulverbeschichteter...

SOFTWALL-REINRAUM – EUV-FORSCHUNG

13. August 2023Hugo Woudsma

Spezifikationen Softwall-Reinraum ISO-Klasse 5 (ISO 14644-Teil 1) ca. 300 Luftwechsel pro Stunde 12 Stück ULPA-Fan-Filter-Units vom Typ U15 Maße: ca. 15 m2 (5m x 3m) x 2,5m Innenhöhe Filter mit Vorfiltern mit hoher Kapazität ausgestattet Extrastarker pulverbeschichteter Stahlrahmen Mobil auf...

SOFTWALL-REINRAUM – VDL ETG

12. August 2023Hugo Woudsma

Reinraumspezifikationen ISO-Klasse 7 (ISO 14644-part 1) Circa 65 Luftwechsel pro Stunde 122 HEPA-Fan-Filter-Units vom Typ H14 Maße: ca. 1.000 m2 (37 m x 27 m) x 4,2 m int. Höhe Filtereinheiten mit leistungsstarken Vorfiltern ausgestattet Robuster Rahmen aus pulverbeschichtetem Baustahl...

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